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《紫外激光切割Si片的实验研究》论文下载
  • 类型: .pdf
  • 来源: 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 作者: 楼祺洪 章琳 叶震寰 董景星 魏运
  • 大小: 112KB
  • 类别: 电子文档
  • 语言: 中文
  • 授权: 免费资料
  • 环境: Win2003,WinXP,Win2000,Win9X
  • 更新: 2007-12-13
软件简介:

激光切割是利用聚焦的高功率激光束照射工件,光束能被材料吸收,当激光超过阈值功率密度后引起照射点材料温度急剧上升,当温度达到沸点后,材料开始汽化,并形成孔洞。随着激光束与工件的相对移动,最终使材料形成切缝。

激光切割具有割缝窄、切割速度快、割缝边缘垂直度好、切边无机械应力无刀具磨损等优点,适用于脆性易碎的材料。由此可见,激光是一种高质量、快速切割的有效工具,已广泛应用于金属材料(如薄钢板)、非金属材料(如木材、塑料、橡胶、布料)等。近年来,激光切割已扩展到半导体材料.....

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