opticsky.net - 光行天下科技网

投递文章 投稿指南 RSS订阅 站内公告:光行天下科技网改版啦!欢迎测试,期待您的意见。
搜索: 您的位置首页>网络资源>学术论文>
  • 2007-12-13 15:10:02《紫外激光切割Si片的实验研究》论文下载
  • 报道了用193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于15μm的切缝及小于5μm的切面不平整度。... [阅读全文]
  • 来源:中国科学院上海光学精密机械研究所作者:楼祺洪 章琳 叶震寰 董景星 魏运点击:0评论:0
共1页/5条
关于我们 - 联系我们 - 广告服务 - 法律声明 - RSS订阅 - 网站地图 - 返回顶部